Vid tillverkning av halvledare använder man snittningsmaskiner för att dela wafers till individuella chips.
I snittningsmaskinerna använder man frekvensomformare, höghastighetsmotorer och diamantverktyg.
Fördelen med frekvensomformare
Snittningsmaskiner med frekvensomformare har följande fördelar:
- Kompatibla med SEMI F47
VFAS1 och VFPS1 är kompatibla med SEMI F47.
- Varvtalsreglering
Frekvensomformare kan varvtalsreglera hög-hastighets spindelmotorer.
- 500Hz drift med standard frekvensomformare
Standard VFS11 och VFAS1 är gjorda för drift med 500Hz.
(120x500Hz/2polig motor = 30000min-1)
- 1600Hz drift med speciella frekvensomformare
VFAS1 har ett specialutförande för drift med 1600Hz.
Anmärkningar angående användning av frekvensomformare
-Låsning på grund av korta accelerationstider
Inställning av kort accelerationstider förorsakar vanligtvis avstängning OC1 trip (överbelastning under acceleration) eller OL1 trip (överlast hos frekvensomformare).
Det är emellertid troligt att motorer låser sig när man har ställt in för korta accelerationstider för en höghastighetsmotorer
Vid användning av höghastighetsmotorer bör man därför tänka på att ställa in tillräckligt långa accelerationstider.
Låsning:
Låsning inträffar när belastningsmomentet överskrider motorns maximala belastningsmoment (enligt moment/hastighetsdiagram). Eftersläpningen ökar då och motorn stannar
- Detektering av kortslutning vid uppstart
Impedansen hos höghastighetsmotorer är låg i förhållande till standardmotorer.
Skyddsfunktionen för detektering av kortslutning i motorutgången kan därför ibland förorsaka avstängning.
Detta kan förhindras med inställning av F613 (Detektion av kortslutning under uppstart).
- Elektromagnetiska störningar
Frekvensomformare genererar elektromagnetiska störningar.
Problem eller fel kan uppstå om man har känsliga sensorer eller annan känslig utrustning i frekvensomformarens omedelbara närhet.
Problemen kan undvikas genom att installera externa störningsfilter eller att använda annan metod för kabeldragning.
- Övertoner
Frekvensomformare genererar övertoner.
Dessa övertoner kan ibland förorsaka fel hos andra styrutrustningar som är anslutna till samma matning.
Övertoner kan undvikas om man installerar en extern nätreaktor.
To decrease 'harmonics', we recommend to install DC reactors in all our inverter models.
(NOTE: 100V input models require AC reactors.)
Urval
Vanligtvis skall frekvensomformare och motor ha samma kapacitet.
Man bör vara uppmärksam på följande när man väljer frekvensomformare för snittningsmaskiner:
- Maximal frekvens
- Accelerationstid
- Retardationstid
- Vibration
- Maximal frekvens
För standardmodeller av VFS11 and VFAS1, är maximala frekvensen 500Hz (30000min-1).
Du kan välja speciella utföranden av VFAS1 med maximal frekvens 1600Hz (96000min-1) när du behöver högre varvtal.
- Accelerationstid och retardationstid
Du bör vara uppmärksam på följande tänkbara problem när du väljer accelerations- och retardationstider:
- För kort accelerationstid: Låsning eller OC1 avstängning kan inträffa.
- För kort retardationstid: OC2 avstängning eller OP2 avstängning kan inträffa.
För att undvika dessa avstängningar av frekvensomformare bör man beräkna accelerations och retardationstider enligt följande:
Vibration
Frekvensomformarens motorström är inte sinusformad. Detta kan ibland förorsaka vibrationer i motorn.
För höghastighetsdrift bör man undersöka följande:
- Vibrationer är inom vad som är acceptabelt.
- Undvik resonansfrekvenser hos maskinsystemet.
Applikationsexempel
Vanligtvis används följande manöverfuktioner för snittningsmaskiner:
- START och STOPP via fjärrmanöver
- Frekvensinställning via manöverpanel (inställning av fasta frekvenser)
- Utsignal när man uppnått fullt varvtal.
- Signalingång för nödstopp.
Tabell för inställning av frekvensomformare (VF-AS1)
Följande tabell visar parameterinställningar för VFAS1 och höghastighetsmotor (360Hz: 21600min-1) tillverkad av TIPM.
TIPM: Toshiba Industrial Products Manufacturing Corporation
Egenskaper:
S3 plint: Insignal för nödstopp.
OUT2 plint: Utsignal efter full acceleration.
Frekvensinställning med operatörspanel: Tryck på Upp/Ner pilar /Utfrekvensen visas med LED
